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发布于 2024-12-16 / 47 阅读 / 0 评论 / 0 点赞

带你轻松了解半导体CIM系统之MES(一)

上次发表半导体CIM科普的文章 带你轻松了解什么是半导体CIM系统 引起了广泛关注,想不到大家对CIM系统关注度如此之高,当时也给自己立下个flag来详细介绍相关的系统,现在,续集终于来了!由于半导体CIM系统十分复杂且分类较多,后续将逐一介绍,每个系统都会有多个篇章介绍,由浅到深,慢慢填坑。

01  什么是MES系统

分享也是学习的过程,由于个人知识储备的原因文中难免有疏漏或者错误的地方,恳请指正,互相学习。本文主要是半导体生产相关的MES系统介绍的初始篇,主要是基础介绍。

MES (Manufacturing Execution System)即制造执行系统,如果说CIM系统是芯片制造的EDA,那么MES就是CIM系统的核心与晶圆厂的大脑,旨在监控、控制和优化芯片制造过程。

1..png 如果没有没有CIM/MES系统会是怎样?

MES是CIM系统中最为关键的系统,在晶圆厂中,MES系统连接企业的上层管理系统(如ERP)与底层设备控制系统(如EAP),负责对整个生产过程的实时监控、数据采集、资源调度和生产优化。

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02  MES系统功能介绍

半导体MES系统主要通过信息化手段对复杂的半导体制造过程进行管理和优化,其关键功能包括:

1. 生产管理与调度

• 实时生产跟踪:对每一块晶圆或每批产品的制造工序、时间、设备状态进行实时记录,确保生产计划按时完成。

• 动态生产调度:根据设备状况、原材料到位情况和订单优先级动态调整生产顺序,提高资源利用率。

2. 数据采集与分析

• 生产数据采集:通过对设备、材料、环境、工艺参数等的全方位数据采集,生成透明化的生产状态报告。

• 数据分析与反馈:使用统计工具(如SPC)分析生产数据,识别工艺异常并及时反馈给操作人员。

3. 产品追溯与质量管理

• 全面追溯:实现从原材料、每道工序到最终产品的全生命周期追溯,确保产品质量合规性。

• 良率提升:通过监控每道工序的参数与测试结果,优化工艺以提高良率。

4. 设备集成与自动化控制

• 设备状态监控:实时监测设备运行状态,减少设备宕机对生产的影响。

• 工艺自动化:MES通过与EAP对接实现设备控制的自动化,减少人工干预。

5. 仓储与物流管理

MES系统能够优化半导体晶圆、掩膜版(Mask)、化学材料等的存储与流转,提高生产效率。

6. 生产计划与成本管理

MES可以动态调整生产计划,实时计算生产成本,帮助企业优化资源分配并降低运营成本。

4-ltvy.png以上为某企业MES的架构图,不同的半导体公司的架构有所差异,12寸晶圆厂相对8寸也更复杂,后续也会介绍MES架构,功能及业务逻辑,敬请期待~

03  MES系统的发展历史

MES的起源可以追溯到20世纪60年代,当时美国的Dana Corporation公司为了解决生产过程中的信息传递问题,开发了第一个MES系统。此后,随着计算机技术的发展,MES系统逐渐成为制造业生产过程中的重要组成部分。从20世纪90年代开始,随着全球化竞争的加剧,MES系统在全球范围内得到了广泛的应用和推广。

而在半导体行业中,MES被归属于CIM系统,是整个CIM系统的核心,不仅成本占CIM系统的大头,而且决定整个代工厂的发展水平。

MES在半导体制造的应用最早出现在国外,应用材料,IBM,西门子是行业的巨头和领头羊,同时由于半导体制造工艺复杂,行业壁垒高,CIM/MES更是长期被国外巨头所垄断。

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相比国外,CIM/MES国内发展较晚,早期国内晶圆厂也大多选择国际知名的应用材料或者IBM的产品。近年来由于国外对中国半导体行业的制裁,不仅硬件逐渐国产化,软件的国产化替代呼声也越来越高,同时资本市场对CIM/MES的关注度也越来越高,国内也涌现了不少行业内十分优秀的企业。

2-ysny.png 部分CIM/MES的优秀企业

04  未来发展方向

半导体MES系统领域虽然相对国外发展较晚,但是这也是一种机遇,乘着国产化替代的东风,我们又可以将系统融入最先进的互联网技术,假以时日,我们也会有自己优秀的产品。

未来,MES系统可以考虑往这些方面发展:

1. 智能化与自动化深化

  • MES系统将深度融合人工智能技术,支持异常检测、预测性维护和生产优化决策。

  • 自动化程度进一步提升,实现对设备和工艺的自主调控。

2. 数据驱动与大数据分析

  • MES将与大数据平台结合,实现从生产数据中挖掘工艺改进和效率提升的潜力。

  • 支持多工厂数据的横向对比与纵向挖掘,推动全球化协同制造。

3. 基于云的MES系统

  • 随着云计算技术的发展,未来MES系统可能逐渐由本地部署转向基于云的架构,实现更高的灵活性与扩展性。

4. 国产化与自主研发

  • 国内MES系统将逐步向高端化和标准化发展,提升本地供应链安全性。

  • 发展自主可控的MES平台,支持国家半导体产业链的战略安全。

5. 与工业互联网融合

  • MES将成为工业互联网的重要节点,实现对车间、设备、供应链的全面联动。

  • 支持5G和边缘计算场景,提升数据传输效率与实时性。

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05  总结

半导体MES系统是现代半导体制造工厂的中枢神经,其对生产管理、质量控制和资源优化具有至关重要的作用。随着行业技术的快速迭代和国产化进程的加速,MES系统的智能化、云化和本地化趋势将进一步推动半导体制造业迈向新高度。在全球供应链竞争与合作加剧的背景下,MES系统的升级与国产替代将是未来发展的重要方向。


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